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时表明,公司潜江CMP软垫工厂是全球首家类型全布局的软抛光垫工厂,具有高度自动化水平生产线,具有为客户定制开发特定需求抛光垫产品的才能,根本的产品类型包含
在用精抛垫方面,公司已量产许多类型软抛光垫,全方面掩盖Cu barrier(铜阻挡层)、W buff(钨制程精抛)、Oxbuff(氧化硅制程精抛)、Grinding(晶背研磨)等制程,部分产品在客户端批量运用,其他客户测验反应活跃,大部分进入到产品测验阶段,估计下一年完成产销量的快速增长。
在大硅片用抛光垫方面,小尺度产品在客户端获得正面反应,部分客户现已推进到产品测验阶段,年末前有望获得订单;大尺度产品继续打造上游资料和设备供应链,估计将于下一年上半年完成量产。